UV氧化工業廢氣處理設備采用高能紫外線破壞、分解大分子鏈為小分子鏈，再利用臭氧和羥基自由基氧化、催化劑進行催化氧化，使有機物變為水和二氧化碳，以達到去除有機物的目的。
　�。�1）破壞裂解
　　采用微波**電磁輻射和穿透力、微波催化燃燒功能對廢氣進行微波輻射和破壞，使所有有機物廢氣的分子鏈完全打斷，裂解、改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、分解成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。
　　采用特制紫外線光管在處理裝置內產生高能C波段（253.7nm波段）紫外線，破壞、裂解有機物分子鏈，改變物質結構，將大分子物質裂解、氧化成為低分子物質或無害物質，如水和二氧化碳等。在高能C波段紫外線作用下，低于1000PPM大分子有機廢氣，只需0.5s廢氣中有機物可裂解、氧化成CO2和H2O。
　�。�2）三重催化氧化
　　采用特制紫外線光管在處理裝置內產生C波段（185nm波段）紫外線，該波段紫外線對裝置內廢氣中的水汽、氧氣照射產生大量的羥基自由基,羥基自由基（OH）因其有極高的氧化電位（2.80EV），其氧化能力極強，可與大多數有機污染物發生快速的鏈式反應，無選擇性地將有害物質氧化成CO2、H2O或礦物鹽，無二次污染。