①低溫等離子廢氣處理設備性能良好：機械設備精度、性能能滿足相應水平產品的生產工藝要求；動力設備功能達到原設計或法定運行標準；運轉無超溫、超壓和其他超額定負荷現象。
　　②設備運轉正常：零部件齊全，磨損、蝕耗程度不超過規定技術標準；操縱和控制系統，計S儀器、儀表、液壓、氣壓、潤滑和冷卻系統，工作正常可靠。
　　③消耗原材料、燃料、油料、動能等正常，基本無漏油、漏水、漏氣（汽）、漏電現象，外表清潔整齊。
　　④設備的安全防護、制動、聯鎖裝置齊全，性能可靠。
　　光氧催化廢氣處理的特性：
　　安全性：作為食品藥品添加劑，經過美國FDA認證，使用非常安全（需要說明的此處應該指微米及以上尺度的二氧化鈦，其他材料的光觸媒或是更小尺度的二氧化鈦的安全性并未得到嚴格認證）。
　　持久性：由于光觸媒只是提供了反應的場所，它本身并不參與化學反應，所以它的作用效果是持久的。